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【貴重・コレクター本】半導体シリコン結晶工学 志村史夫 著
内容説明
本書は、半導体材料の基本であるシリコン結晶の工学を基礎から応用まで一貫して述べたものである。著者の、デバイスメーカ・材料メーカ・大学の三者での研究生活の経験を生かし、デバイスと材料の相関を意識した内容となっている。また、図面を多く取り入れ、文献をふんだんに紹介するなどの便宜が図ってある。
目次
単結晶の育成
ウエーハ加工と洗浄
酸化膜と窒化膜
絶縁体上のシリコン層
結晶欠陥の解析と制御
結晶欠陥の制御
結語 シリコン結晶工学の将来
＊サイズ（目安）：16㎝×21.6㎝×2.5㎝
＊カバーに擦れ、小さな破れあり（テープで保護）
＊本の中は綺麗な状態です。
＊自宅にて保管
＊大変貴重なコレクター本で、販売当時の価格は8,600円ですが、2024.8.25.時点、大手ECサイトで「19,000円より」の価格設定で販売されていました。
※プロフィールの内容をご確認下さい。
※即購入歓迎です。
カテゴリー本・雑誌・漫画 > 本 > 科学・工学商品の状態やや傷や汚れあり発送元の地域東京都
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